二氧化碳(CO2)是氯化溶剂、氯氟烃(HCFC)、三氯乙烷和其他用于精密清洁的消耗臭氧层溶剂的理想替代清洁介质。与反应性化合物相比，它便宜、丰富、相对惰性、无毒、不易燃且易于回收。
用于清洁的CO2是可重复使用的，即可以使用从工业过程中回收的气体。这些气体如果不回收，也会通过烟囱排放到大气中。CO2在最终排放前被净化并用于清洁和其他应用。
多年来，不同状态的CO2被广泛用于各行业去除表面污染物。CO2气体也可用于对受污染基材进行高速吹扫的清洗领域，但这种方法只对大于50pm左右的颗粒物有效。
干冰颗粒形式的固体CO2已被很好地用于清洁，例如从飞机上去除油漆、核污染和石棉去污、清洁和修复文物。
使用低密度干冰CO2清洗是一种温和而精确的清洗技术，可以去除表面有机污染物（10nm厚）薄膜和30-40nm范围内的颗粒。超临界CO2（SCCO2）具有气体传输特性和液体溶剂特性，虽然该过程必须在非常高的压力下操作，但它比该州其他去除污染物的方法更灵活。